Az Oxalumina kerámia szívókorongos lemez egy forradalmi termék a precíziós kezelőrendszerek területén. ≥99,9%-os tisztaságú α-alumínium-oxid kerámiából (α-Al2O3) készül, amelyet porózus szerkezettel kombinálva optimális vákuumeloszlás érhető el. A hagyományos fém vagy polimer tapadókorongokhoz képest ez a kerámia megoldás teljesen kiküszöböli a részecskék szennyeződésének kockázatát, miközben ellenáll a szélsőséges hőmérsékleteknek (1750°C folyamatos működés) és a korrozív környezetnek. Egyedülálló mikroszerkezete (2-5 μm egyenletes pórusméret, 3,89 g/cm³ sűrűség) biztosítja a szubmikronos síkságot (felületi érdesség Ra≤0,1 μm), így ez az egyetlen olyan professzionális tapadókorongos platform, amely képes kezelni a 300 mm-es félvezető lapkákat ±0,1 μm szívási pontossággal.
1. Áttörés az anyagteljesítményben
Hőstabilitás: nincs deformáció 800°C-os hősokk ciklusokban, élettartama pedig ötször hosszabb, mint az ötvözött tapadókorongoké (magas hőmérsékletű folyamatkörnyezet).
Vegyi ellenállás: 1 éves súlyveszteség 30%-os kénsavba merülés esetén kevesebb, mint 0,01 g, alkalmas akkumulátor elektrolitos működésre és kémiai gőzleválasztási folyamatra.
Szigetelési teljesítmény: A letörési térerő eléri a 40 kV/mm-t, ami biztosítja a biztonságos működést a plazmamaratókamrában.
2. Mérnöki tervezési innováció
Porozitásszabályozás: A 40%-os porozitást gél-fröccsöntési eljárással érik el, az 1-3μm-es pórusfalszerkezet pedig megakadályozza az ultravékony részek (≤50μm) adszorpcióját és deformálódását.
Intelligens architektúra: A beépített hőmérséklet-érzékelő támogatja a valós idejű hőkezelést -196 ℃-tól az ultramagas hőmérsékletű környezetig.